冷凝泵真空不良故障5点原因
1.冷凝泵的真空安全阀泄露。
2.冷板安装不正确、劣化、快速再生不良。
3.前级泵抽气时间过长, 使油返回到真空室后又被吸附到冷板上。
4.制冷温度达不到20K以下: 冷冻机制冷能力劣化；压缩机压缩能力降低(很少发生)；He气压力过低；He气充填压力过高。
5.若仍然不行,则可能是冷冻机的相位角有偏差。这时,需按照以下步骤重新进行调整: 首先, 使活塞连杆处于顶部死区的位置(偏心轮最高点)； 然后, 把偏心轮逆时针方向旋转30°(偏心轮最高点的位置) ,使低压阀闭合,高压阀处于闭合/开启临界状态。此时, 臂式阀杆处于悬空状态, 即, 没有接触阀芯。用手伸进视镜窗孔中转动二个大轴承, 应感到很轻；若仍然感到很重, 则可拧掉二侧的堵头, 通过调整臂式阀杆的调整螺钉来加以修正。使低压阀闭合, 高压阀处于闭合?开启临界状态(靠近高压管的一侧为高压阀。即, 第二个臂杆)。
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